Bei diesem Verfahren strahlt Licht auf die Oberfläche der Probe, dies wird dabei reflektiert und strahlt durch das eingesetzte Objektiv zum Okular. Hierbei sind Vergrößerungen von 20-fach bis zu 1500-fach möglich, welche durch die Wellenlänge des Lichts limitiert ist. Klassische Analyseverfahren im Bereich der Werkstoffwissenschaften sind Linien, Punkt und Flächenanalysen.