Topographische Analysen
Schichtdicken Bestimmung
Oberflächenfunktionalisierung
Randschicht Härten
- Oberflächentopographie
- Leitfähigkeit
- Adhäsionskraft
- Elastizitätsmodul
- Strom-Spannungs-Kurven
- Magnetische Eigenschaften
- Elektrische Eigenschaften
- 100 x 100 µm² und 10 x 10 µm² xy-Scanner
- 15 µm z-Scanner
- Probentemperierung von -25°C bis 180°C
- Universal Liquid Cell (ULC)
- Liquid Probehand
Messmodi:
- Contact Mode
- Tapping Mode
- Non-Contact Mode (NCM)
- Nanoindentation
- Nanolitography
- Force Modulation Microscopy (FMM)
- Electrostatic Force Microscope (EFM, EFM-DC)
- Scanning Capacitance Microscope (SCM)
- Conductive Probe AFM (CP-AFM)
- Scanning Tunneling Microscope (STM)
- Magnetic Force Microscopy
- Scanning Thermal Microscopy (SThM)
- Scanning Ion Conductance Microscopy (SICM)